模具加熱爐作為真空系統(tǒng)的主泵已有幾十年的歷史，但至今擴散泵的加熱方式雖有變化，但并不盡如人意。

較早的電阻絲加熱方法至今仍在使用。雖然提高可靠性容易，但對人石短路還是很容易的。

第二代干管模具加熱爐加熱器的使用壽命較長為100天。

第三代電阻模具加熱爐加熱爐分為圓餅式和扇形餅式。加熱管的使用壽命略長于加熱管。

但加熱餅應(yīng)靠近擴散泵的底部。用戶很難做到這一點。另外，電線接入?yún)^(qū)域溫度過高，觸電區(qū)域容易氧化虛擬連接。雖然改進了N次，但故障率仍然很高。

電阻加熱的第二代變體是插入擴散泵的電熱管加熱方法。這種加熱方法具有加熱速度快的優(yōu)點。

但是，缺點也非常明顯：一旦擴散泵內(nèi)沒有油，加熱管就會干燒，連鎖反應(yīng)會導(dǎo)致管子爆炸、套管爆炸、擴散泵泄漏、擴散泵油開裂、氧化、碳化失效。讓用戶受苦。

科學(xué)的加熱方法是將電磁感應(yīng)加熱器的加熱技術(shù)轉(zhuǎn)化為模具加熱爐的加熱。這導(dǎo)致了革命性的進步。

用這種方式加熱的優(yōu)點是加熱快。節(jié)能，爐子本身不發(fā)熱。爐子本身壽命長。故障率很低。